樣品與濺射膜層的附著力解析

  使用離子濺射儀要獲得高質量的膜層，膜與樣品基體的結合力必須牢固，即膜層對樣品基體的附著力必須大。影響附著強度的因素有很多。提高附著強度的方法主要有以下5種。

1.提高基體表面清潔度?；w表面清潔度是影響膜層與樣品基體附著力的關鍵因素之一。

2.減小膜層的應力。濺射膜層的應力過大時，膜層就會開裂、翹曲或脫落，所以必須減小應力。

3.適當提高樣品基體溫度。提高樣品基體溫度，不僅可以減小應力，還可以增強膜層與基體的結合力。加熱樣品基體一方面增加樣品基體原子的活性，另一方面促進膜層基體界面原子擴散。這兩種方式都可以增加膜與基體的附著強度。

4.提高表面活性。對于清潔的樣品基體，如果由于樣品基體本身的性質決定了膜和基體結合力弱，那么可以在成膜前對基體表面進行處理。如用氬離子轟擊基體表面，氬離子轟擊不僅去除表面吸附物和氧化層，更重要的是表面形成懸掛鍵，這些懸掛鍵具有很強的活性，使得到達表面的原子易于與基體牢固結合，從而提高膜層對基體的附著強度。

5.在樣品基體上打底膜，對于上述情況，還可以選擇打底膜的方式，如在玻璃基材上沉積銀膜，由于玻璃與銀之間的結合力弱，難以形成附著強度高的膜，那么可以先在玻璃表面鍍上一層鉻膜，再在其上沉積銀膜，這樣由于銀膜與鉻膜、鉻膜與玻璃之間結合力強，使得銀牢固地吸附在玻璃基材上。