全自動掃描電鏡樣品制備 ?離子減薄儀

SC-2000概括

利用快速的剖面切削制備樣品的橫斷面

通過表面細拋，最終研磨制備SEM或EBSD的樣本

離子槍能量：標配100eV到10KeV，或可追加16keV超高能量離子槍

數碼式參數設定和自動操作

可旋轉和oscillation樣本搖擺

可高精細定位加工樣本的特定部位

配置高分辨CCD照相機，通過顯示器實時觀察拋光過程

通過Peltier制冷（SC-1000)或液氮制冷（SC-2000)保護樣本受超負荷過熱的影響

可選擇多種樣本支架適合各種大小的樣本

SC-2000特征（1）

???全自動多功能離子減薄儀SC-2000適應于材料學，半導體電子業的研究開發各種需求。

?可用于剖面切削

?也可適合表面研磨拋光，制備精致而無損傷的SEM/EBSD的樣品

???全自動控制操作，容易使用

?嵌入式計算機系統，軟件操作界面直觀易用，便于初心者的簡單設定，也適合高級用戶變更設定減薄參數

?按樣品性質和制備要求，可以自由編程，保存，調出制樣程序，或者設定預編程。避免人工操作的個體誤差

???快速制備無損樣品

?可選擇從超低到超高能量的離子槍 (100 eV- 16 keV)（16 keV離子槍為可選項）

?廣范圍離子能量的兩個獨立離子槍，即適合于快速切削（達530 μm/h@ 10 keV ），也適應于快速切削后的

表面無損細拋光（超低能量離子槍為專利產品）